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    藍寶石拋光液配方技術研發外包服務

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    技術成熟等級:

    配方研發周期:需評估樣品

    研發中心:江蘇省蘇州市

    滿意度:--------

    藍寶石拋光液配方技術研發外包服務外包服務

    項目背景

    LED是新一代,具有廣闊應用前景的光源,世界各國都紛紛製定LED技術與產業發展計劃。與發達國家相比,我國發展相對較遲,於2003年正式啟動了“國家半導體照明計劃”,三年後,我國科技部啟動“半導體照明工程”863計劃,推動了我國半導體照明產業的發展。在LED產業鏈中,N-型半導體(GaN)在藍寶石襯底上的無缺陷生長,很大程度上依賴藍寶石晶片的表麵加工質量,但是,藍寶石由於其硬度高、化學穩定性好,很難進行加工。為了獲得無損傷表麵,人們提出各種加工工藝以期待能夠獲得更高的加工速率、加工質量,降低加工成本。現階段,在藍寶石晶片的超精密加工中,以拋光最為常用。常見的拋光方法主要有機械拋光和化學拋光。其中機械拋光主要以硬質磨料來磨削,容易在晶麵產生劃痕等缺陷,目前已經較少使用。化學拋光是用拋光液中的化學物質與晶片表麵發生化學作用,提高機械去除的效率和拋光質量,現已成為半導體加工行業的主導技術。 

    產品名稱: 藍寶石拋光液(配方服務) 產品主要用途:金屬加工 出具報告:J9.COM化學檢測報告

    應用領域

    藍寶石拋光液主要用於藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用於多種材料納米級的高平坦化拋光,如:矽片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。

    實例照片

    藍寶石拋光液配方技術 

    組分

    質量百分比

    二氧化矽

    30~40

    氫氧化鈉(氫氧化鉀)

    0~1

    無機鹽(1種或多種)

    0~1

    無機堿/有機堿(一種或多種)

    0~1

    絡合劑(醋酸鈉)

    0~1

    緩蝕劑(BTA)

    0~1

    表麵活性劑或分散劑

    0~1

    穩定劑(聚乙二醇)

    0~1

    餘量

    為保護核心技術資料的機密性,數據已經過修改處理,僅供參考。本單位對直接照搬配方數據帶來的損失,不負法律責任;如有技術需求直接聯係我中心技術專員400-660-8959

    物理指標

        序號

    項  目

    指  標

    1

    外  觀

    乳白色液體

    2

    固含量

    40-45%

    3

    pH

    9~11

    4

    比重

    1.6-2.2

    5

    建議工作溫度

    30-50oC

    項目特點

    1)拋光液顆粒分散均勻,不團聚,有效避免拋光過程中由於顆粒團聚導致的工件表麵劃傷缺陷;

    2)拋光液顆粒粒徑分布窄,最大程度提升拋光速度,拋光效率更高;

    3)拋光後無明顯劃痕、凹坑、斑點等缺陷,平均粗糙度低;

    4)可以循環使用,循環時隻需適時調節pH值;

    5)拋光後無結晶,易清洗;

    6)拋光過程無粉塵產生,環保安全。

    項目開發價值

    1)技術難點

    a.如何提高磨料的分散能力,使分散均勻,防止快速沉降、團聚;

    b.如何選取合適的磨料,減少拋光過程中出現劃痕,明顯改善拋光後矽片表麵質量,降低表麵粗糙度;

    c.如何防止加工過程中金屬離子對半導體芯片的危害,提高拋光後產品的成品率;

    d.如何控製化學腐蝕作用與機械磨削作用達到一種平衡,防止拋光片表麵產生腐蝕坑、桔皮狀波紋,或者機械磨削太強出現的表麵損傷。

    2)市場價值

    a.近兩年,隨著國內研發力度的加大,已經可以研發出新的藍寶石拋光液,一些真正的應用也剛開始嚐試,因此有很大的研發發展空間;

    b.該類型研磨拋光液涉及範圍比較廣,多數研磨拋光液的研發機構存在局部的問題,都還無法攻克難關,因此,該項目具有較高的開發價值;

    c.J9.COM研發中心自主研發出的藍寶石拋光液,化學腐蝕和研磨拋光相互補充,可以提高拋光後材料的表麵性能,提高產品的成品率。

    服務流程

    成分分析,配方開發,工業診斷

    聯係方式

    公司:蘇州J9.COM化學技術服務有限公司

    地址:蘇州金雞湖大道99號納米城西北區NW-01幢3樓

    電話:400-660-8959/0512-8219 0669

    郵件:hechuanjishu@hechuanchem.com

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